新華社北京3月13日電(記者張泉、劉詩平)電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工718所副所長(zhǎng)郭建增告訴記者,718所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商,特種氣體公司,為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。
電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱,是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而,電子特種氣體過去長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷,嚴(yán)重影響我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善,影響我國(guó)集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)市場(chǎng)
隨著化合物半導(dǎo)體技術(shù)的日益成熟和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程的加快,無錫特種氣體,外延技術(shù)需要的超純特種氣體和有機(jī)源的研制和制造技術(shù)不斷提升。主要表現(xiàn)在:氣體和有機(jī)源的深度純化技術(shù);氣瓶及管路內(nèi)壁的潔凈處理技術(shù);ppm、ppb、ppt氣體雜質(zhì)檢測(cè)技術(shù);ppb、ppt級(jí)金屬雜質(zhì)的凈化控制及分析檢測(cè)技術(shù);排放尾氣的解1毒報(bào)警技術(shù);一體化無污染供氣系統(tǒng)的建立;特種氣體混合氣的配制技術(shù);配套器件技術(shù)以及0.01~0.002μm顆粒的測(cè)試過濾技術(shù)等。為了適應(yīng)日益發(fā)展的下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要,特種氣體生產(chǎn)商在產(chǎn)品純化、灌裝、檢測(cè)等環(huán)節(jié)取得更多的創(chuàng)新技術(shù)。

標(biāo)準(zhǔn)氣體
所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來校正測(cè)量?jī)x器、評(píng)價(jià)測(cè)定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測(cè)環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)1療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類。由于使用了標(biāo)準(zhǔn)氣,所以即使在不同場(chǎng)所測(cè)定,也具有相同測(cè)定值。標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油 冶金、機(jī)械、航天、電子、軍1工玻璃、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。


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